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分类：电弧熔炼

本底真空对磁控溅射的影响

2020-08-27

磁控溅射，磁场操控的二级溅射。原理是将靶材周围的气体电离化，构成等离子体，在等离子体环境中溅射进程。归于气体放电领域。优质的膜层需求操控膜层的安稳性和均匀性，而体现在操控方面，则表现为：磁场、气场、电源。1.磁场的安稳：靶芯的磁场的均匀性。

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磁控溅射镀膜仪有没有辐射？

2020-08-19

磁控溅射仪当然有辐射，1、可见光波段：阴极发射的电子电离介质气体分子，分子/原子光谱。这些光密度不大，不至于刺伤钛合金狗眼.属于无害辐射。2、不可见光波段：阴极发射的电子电离介质气体分子，红外/紫外，分子/原子光谱。紫外辐射有害3、X射

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本底真空对磁控溅射的影响？

2020-08-12

磁控溅射，磁场操控的二级溅射。原理是将靶材周围的气体电离化，构成等离子体，在等离子体环境中溅射进程。归于气体放电领域。优质的膜层需求操控膜层的安稳性和均匀性，而体现在操控方面，则表现为：磁场、气场、电源。1.磁场的安稳：靶芯的磁场的均匀性。

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