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磁控溅射镀膜技术
2020-10-19
溅射溅射镀膜溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面,使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术。通常,利用低压惰性气体辉光放电来产生入射离子。阴极靶由镀膜材料制成,基片作为阳极,真空室中通入0.1-10Pa的氩气或其它惰性气体,在阴极(靶)1-
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磁控溅射设备的主要用途
2020-10-19
磁控溅射设备的主要用途(1)各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低温沉积氮化硅减反射膜,以提高太阳能电池的光电转换效率。(2)装饰领域的应用,如各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳,鼠标等。(3)在微电子
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真空磁控溅射为什么必须在真空环境?
2020-09-24
磁控溅射过程是经过电能,使气体的离子(可以理解为气体颗粒)炮击靶材(一般是金属溅射物),就像砖头砸土墙,土墙的部分原子溅射出来,落在所要镀膜的基体上的进程。假如气体太多,气体离子在运转到靶材的进程中,很容易跟旅程中的其他气体离子或分子碰撞,
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直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别
2020-09-17
主要的溅射方法能够根据其特征分为以下四种:(1)直流溅射;(2)射频溅射;(3)磁控溅射;(4)反应溅射。另外,使用各种离子束源也能够完成薄膜的溅射堆积。现在的直流溅射(也叫二级溅射)较少用到,原因是溅射气压较高,电压较高,溅射速率小,膜层
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磁控溅射镀膜设备如何使用效率才高?
2020-09-10
在使用磁控溅射镀膜设备的时候,使用一般的溅射办法,发现溅射功率都不是非常的高。为了进步溅射的功率,加速工作的进展。那么该怎样加速这种设备的运用功率呢?这就需求增加气体的理化功率。增加气
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磁控溅射是物理气相沉积的一种!
2020-09-03
磁控溅射是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。磁控溅射镀膜仪厂家带你了解更多!磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与氩原子发
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