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设备用途：磁控与离子束复合系统用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等的制备。可广泛应用于半导体、微电子及新材料领域。设备组成：系统主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片水冷加热公转台、
