磁控溅射预处理的目的

2020-12-18 13:34:33

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一、镀前预处理

镀前磁控溅射预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面，为最后获得高质量镀层作准备，要进行脱脂、去锈蚀、去灰尘等工作。

步骤如下：

第一步：使表面粗糙度达到一定要求，可通过表面磨光、抛光等工艺方法来实现；

第二步：去油脱脂，可采用溶剂溶解以及化学、电化学等方法来实现；

第三步：除锈，可用机械、酸洗以及电化学方法除锈；

第四步：活化处理，一般在弱酸中侵蚀一定时间进行镀前活化处理。

磁控溅射

二、镀后处理

1、钝化处理

所谓钝化处理是指在一定的溶液中进行化学处理，在镀层上形成一层坚实致密的、稳定性高的薄膜的表面处理方法.钝化使镀层耐蚀性大大提高并能增加表面光泽和抗污染能力。这种方法用途很广，镀Zn、Cu及Ag等后，都可进行钝化处理。

2、除氢处理

有些金属如锌，在电沉积过程中，除自身沉积出来外，还会析出一部分氢，这部分氢渗入镀层中，使镀件产生脆性，甚至断裂，称为氢脆。为了消除氢脆，往往在电镀后，使镀件在一定的温度下热处理数小时，称为除氢处理。

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