离子束溅射系统是一种新型的真空电镀系统

2020-07-21 16:27:06

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真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，它是将在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。这项技术先是应用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等。之后延伸到其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工红硬性。目前真空镀膜的形式大致可以分为蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。

其中通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。这是应用一开始的镀膜技术，也是现代常用镀膜技术之一；而溅射镀膜是指用高能粒子轰击固体表面时能使固体表面的粒子获得能量并逸出表面，沉积在基片上；而新型的镀膜技术-离子镀是指蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面。离子镀技术指真空蒸发于阴极溅射技术的结合，它综合了蒸发与溅射工艺的特点，并有很好的绕射性，可为形状复杂的工件镀膜，但是离子束溅射系统价格相比于传统的真空镀膜系统要更加昂贵。

离子束溅射系统