浅析磁控溅射镀膜系统设备镀膜特征

2020-07-21 17:34:29

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磁控溅射镀膜系统设备作为目前的的表面处理设备，其作用是非常大的，不仅使用范围广泛，在使用上还能够给人们带来便利。

磁控溅射镀膜系统具有以下显著特征：

1.成膜厚度工艺参数精准可控。通过调整炉内气压、溅射功率、衬底温度、磁场以及电场参数等，可方便地对镀层沉积速度和厚度进行精准控制，误差小，一致性好；

2.膜层灵活多样，基材适应性广。磁控溅射镀膜可生成纯金属或配比精准、恒定的合金镀膜，能满足薄膜的多样性以及高精度要求，并且基材为金属或非金属均可，灵活性好。

磁控溅射镀膜系统相对湿法镀膜的优势在于，针对分子结构复杂的高分子材料的表面镀膜，即使有不同表面镀覆材料要求，也无需更换生产线，只需调整不同的工艺参数，更换相应的靶材，便能快速便捷地实现针对不同基材材料的不同镀层的涂覆；相对于热喷涂等工艺，磁控溅射镀膜的镀层表面质量更好、精度高，因此适合精度要求高的电子产品的表面金属化。笔者采用磁控溅射镀膜方法对PPS，PEEK样件表面进行金属化镀膜，期待解决某些电子装备产品中PPS，PEEK 高分子轻量化材料应用中的表面金属化需求。

我们知道当高速电子对不锈钢、钛、镍、金、银、铜等贵稀金属轰击后，金属分子将向上面的聚脂膜溅射，再通过聚脂膜上面磁的作用，使被溅射的金属物均匀分布。所以，运用这种工艺，解决了染色-热蒸发工艺生产的窗膜透光低、高反光、隔热功能差、视觉模糊、易褪色、耐腐蚀性差等诸多缺陷，不仅可以制作各种纯金属化窗膜，而且因为没有添加任何颜料，所以它可以杜绝偏色、变色，做到不褪色，保证纯正的中性色，与任何车辆的颜色都能匹配，并保证不分层、不剥落不开裂。更重要的是，它在不同的光照度下，视觉颜色恒定不变，可以保证车内人员的视线清晰。

离子束溅射系统