关于磁控溅射镀膜系统的操作规范

2020-07-21 16:31:44

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1.正常工作的磁控溅射镀膜系统在开动时，需要先将水管打开，在磁控溅射镀膜系统运行之中要时刻注意水压的状态；

2.在离子轰击和蒸发时，要特别注意线路方面的情况，不得触动高压线头，以防触电；

3.在用磁控溅射镀膜系统的电子枪的时候，要在钟罩的外面围上一定的防护措施，在观察磁控溅射镀膜系统内部工作状态的时候，需要隔着一定的防护玻璃，观察者建议戴上铅玻璃的研究，以防X射线对人体造成危害；

4.在对多层介质膜进行镀膜时，要记得安装好通风吸尘装置，及时对有害粉尘进行清除；

5.磁控溅射镀膜系统的酸洗装置需在通风装置内进行操作，且操作时工作人员应戴好橡胶手套；

6.真空电镀工作完毕之后，应进行断水和断电的操作，防止出现资源浪费和设备意外。

磁控溅射镀膜系统是一种镀膜设备，在大部分情况下是各种真空镀膜设备的总称。其特点是需要在较高的真空度下对产品进行镀膜，且能源主要是为电能。这种较为精密设备从制造到使用再到保养都有着一系列非常高的要求。

在制造时候，由于成品是需要在较高的真空度下进行镀膜的。所以制造时要严格保证真空电镀机的密封性，密封性足够才能形成真空环境。

由于很多的真空电镀机会采用溅射的方式进行镀膜，所以在使用的过程中带有一定的危险性，所以要求操作人员必须拥有一定的同类产品操作经验和严格的安全防护措施。

磁控溅射镀膜系统